微奈米組儀器列表

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微奈米組儀器列表

組別	類別	儀器名稱	聯絡人員		聯絡分機	電子信箱	自行操作權限時效
檢測組(光學類)	粒徑分析	奈米粒子追蹤分析儀 (Nanoparticle Tracking Analysis)	負責人	陳婷婷	31380#258	ting-ting@gs.ncku.edu.tw	3個月
	粒徑分析	動態光散射儀(Dynamic Light Scattering)	負責人	陳婷婷	31380#258	ting-ting@gs.ncku.edu.tw	3個月
	光學檢測	微拉曼及微光激發光譜儀 (Micro-Raman & Micro-PL Spectrometer)	負責人	陳婷婷	31380#258	ting-ting@gs.ncku.edu.tw	3個月
		拉曼光譜儀/顯微鏡 (Raman Spectrometer/Microscopes)	負責人	李芃葶	31380#228	ptli@ncku.edu.tw	3個月
		紫外光-可見光-近紅外光分光光譜儀 (UV/Visible/NIR Spectrophotometer)	負責人	莊雅雯	31380#220	yawenchuang@ncku.edu.tw	3個月
		橢圓偏光儀(Ellipsometer)	負責人	李芃葶	31380#228	ptli@ncku.edu.tw	3個月
		接觸角量測儀(Contact Angle Meter)	負責人	李芃葶	31380#228	ptli@ncku.edu.tw	3個月
		傅立葉轉換紅外光光譜儀I & II (Fourier Transfer Infrared Spectrometer I & II)	負責人	莊雅雯	31380#220	yawenchuang@ncku.edu.tw	3個月
	晶體分析	X光繞射儀(X-Ray Diffractometer)	負責人	莊雅雯	31380#220	yawenchuang@ncku.edu.tw	3個月
	掃描探針	多功能掃描探針顯微鏡 (Scanning Probe Microscope, SPM)	負責人	簡秀真	31380#209	shioujen@mail.ncku.edu.tw	3個月
	掃描探針	原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscope, NTMDT-AFM)	負責人	簡秀真	31380#209	shioujen@mail.ncku.edu.tw	3個月
	奈米壓痕	奈米壓痕試驗機 II (Nano-Indentation System II, MTS G200)	負責人	簡秀真	31380#209	shioujen@mail.ncku.edu.tw	3個月
	奈米壓痕	奈微拉伸試驗機(Micro/Nano Tensile Tester)	負責人	簡秀真	31380#209	shioujen@mail.ncku.edu.tw	6個月
	光學顯微鏡	多光子激發掃描顯微鏡 (Multiphoton Excitation Microscopy)	負責人	林光儀	31385#236	kilin@mail.ncku.edu.tw	3個月

組別	類別	儀器	聯絡人員		聯絡分機	電子信箱	自行操作權限時效
檢測組(電顯類)	雙束型聚焦離子束	雙束型聚焦離子束儀 I (Dual Beam-Focused Ion Beam I, FEI Nova-200)	負責人	沈欣燕	31380#245	z10209002@ncku.edu.tw	3個月
		雙束型聚焦離子束儀 II (Dual Beam-Focused Ion Beam II, FEI Helios G3 CX)	負責人	王彥茹	31380#226	yenjuwang@mail.ncku.edu.tw	3個月
		雙束型聚焦離子束儀 III (Dual Beam-Focused Ion Beam III, Zeiss Crossbeam 550)	負責人	羅啟仁	31380#246	z11211021@ncku.edu.tw	3個月
	試片製備	鍍金機(Sputter Coater)	負責人	賴修偉	31380#215	hiwett@mail.ncku.edu.tw	不設限
		研磨拋光機(Grinder and Polisher)	負責人	賴修偉	31380#215	hiwett@mail.ncku.edu.tw	不設限
		三離子剖面拋光機 (Triple Ion Beam Milling System- Cross Section polish)	負責人	林家宇	31380#248	chiayu@gs.ncku.edu.tw	3個月
	掃描式電子顯微鏡SEM	高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 II (Scanning Electron Microscope II, JEOL JSM-7001F)	負責人	賴修偉	31380#215	hiwett@mail.ncku.edu.tw	3個月
	掃描式電子顯微鏡SEM	桌上型掃描式電子顯微鏡(Tabletop SEM)	負責人	賴修偉	31380#215	hiwett@mail.ncku.edu.tw	3個月
	穿透式電子顯微鏡 TEM	高解析場發射掃描穿透式電子顯微鏡 (Transmission Electron Microscope, JEOL JEM-2100F)	負責人	林家宇	31380#248	chiayu@gs.ncku.edu.tw	3個月

組別	類別	儀器	聯絡人員		聯絡分機	電子信箱	自行操作權限時效
製程組	蝕刻	奈米深蝕刻系統 (Inductive Coupled Plasma Etching System)	負責人	陳子欣	31380#208	tzuhsin@mail.ncku.edu.tw	3個月
		反應式離子蝕刻機 (Reactive Ion Etching)	負責人	李佩珊	31380#243	z11111034@ncku.edu.tw	6個月
		感應耦合電漿離子蝕刻機 (ICP RIE System, Fluorine base)	負責人	陳子欣	31380#208	tzuhsin@mail.ncku.edu.tw	3個月
		感應耦合式高密度電漿蝕刻機 (ICP RIE System, Chlorine base)	負責人	陳子欣	31380#208	tzuhsin@mail.ncku.edu.tw	3個月
	掃描探針	表面粗度儀 (Alpha-Step Profilometer)	負責人	李佩珊	31380#243	z11111034@ncku.edu.tw	6個月
	掃描探針	半導體元件量測平台(Measurement Station for Electrical Characterization)	負責人	王亭鈞	31380#257	z10711023@email.ncku.edu.tw	3個月
	薄膜成長	電子束蒸鍍機I & II (E-beam Evaporator I & II)	負責人	王亭鈞	31380#257	z10711023@email.ncku.edu.tw	3個月
		共濺鍍機 (Co-Sputter Deposition System)	負責人	王亭鈞	31380#257	z10711023@email.ncku.edu.tw	6個月
		新濺鍍機 (Sputter Deposition System)	負責人	王亭鈞	31380#257	z10711023@email.ncku.edu.tw	6個月
		1&2吋化學氣相沉積石墨烯設備 (1 & 2 Inch Chemical Vapor Deposition for Graphene )	負責人	王亭鈞	31380#257	z10711023@email.ncku.edu.tw	3個月
		原子層沉積系統 Picosun (Atomic Layer Deposition System, Picosun)	負責人	李佩珊	31380#243	z11111034@ncku.edu.tw	3個月
	微影	電子束微影系統 (含鄰近效應校正系統) (Electron Beam Lithography System)	負責人	涂琇真	31380#206	hsiuchentu@mail.ncku.edu.tw	3個月
		雙面對準/UV光感奈米壓印機 (Double-Side Mask Aligner/UV Imprinter)	負責人	涂琇真	31380#206	hsiuchentu@mail.ncku.edu.tw	3個月
		旋轉塗佈儀I & II (Spin Coater I & II)	負責人	涂琇真	31380#206	hsiuchentu@mail.ncku.edu.tw	6個月
		SUSS 雙面光罩對準機 (SUSS Double-Side Mask Aligner)	負責人	涂琇真	31380#206	hsiuchentu@mail.ncku.edu.tw	3個月
	後處理	晶圓切割機 (Wafer Cutting Machine)	負責人	楊士弘	31380#233	z11110045@ncku.edu.tw	3個月

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