掃描探針

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掃描探針

掃描探針 SPM/Electronic Property

掃描探針 SPM/Electronic Property

表面粗度儀 (Alpha-Step Profilometer)

儀器中文全名	2201 表面粗度儀
儀器中文簡稱	表面粗度儀
儀器英文全名	2201 Alpha-Step Profilometer
儀器英文簡稱	Alpha-Step
儀器位置	B1F/無塵室
儀器管理人	李佩珊
TEL	06-2757575 ext. 31380#243
E-mail	z11111034@ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		■ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	表面粗度儀是用來量測物體的表面輪廓，藉由表面輪廓可知所製作的樣品之粗糙度。此機台利用鑽石所製作的尖頭探針，以探針掃描的運動軌跡橫過物體表面，以一導體感測器記錄了針尖的垂直運動變化訊號，來顯示待測物體的二維表面輪廓。
廠牌/型號	廠牌：辛耘企業/KLA-Tencor 型號：D300
條列說明重要規格	探針: 5μm 60deg. 探針掃描速度:0.01mm/s~0.1mm/s 載台大小:15cm diameter 最大掃描高度:100μm 最大掃描長度:30mm
條列說明使用規定	試片高低差不得超過800µm。生物膜(如蛋白質)、軟性基板、銅箔鋁箔、不鏽鋼材料(太硬材料)、高分子材料(太軟材料)不適合用此機台量測。樣品必須定型乾燥，請蝕刻完後必需先吹乾，避免樣品汙染附著於探針。量測參數請遵守最大Range設定值上限100µm，最大Stylus force設定值上限2mg。
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊	技術手冊

原子力顯微鏡 (Atonic Force Microscope, NTMDT-AFM)

儀器中文全名	2202 原子力顯微鏡
儀器中文簡稱	原子力顯微鏡
儀器英文全名	2202 Atomic Force Microscopes
儀器英文簡稱	AFMs
儀器位置	B1檢測實驗室
儀器管理人	簡秀真
TEL	(06)2757575#31389#9
E-mail	shioujen@mail.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		■ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	AFM 探針對樣品表面的狀況,針對不同操作模式下進行掃描,操作模式可分為:接觸式(contact mode)、非接觸式(non-contact mode)以及半接觸式(semi-contact mode)。通常會使用半接觸模式亦稱作輕敲模式(tapping mode),由於輕敲模式比非接觸模式的掃描距離更接近表面,掃描樣品距離約 2~10 nm,利用探針輕敲樣品表面所造成的凡得瓦力來進行回饋,同時會透過共振頻率的影響造成振幅的變化,來掃描出樣品起伏的高低。
廠牌/型號	廠牌：NT-MDT 型號：
條列說明重要規格	Vertical travel range of the stage in mm: 16 Horizontal travel range of the stage (XY) in mm: 5X5 Accuracy of reading (resolution) during sample positioning in microns: 5 Maximum positioning precision in microns: 5 Main resonance frequency range of vibroprotection unit in Hz: 1.5 ~ 2 Size of samples in mm: Up to 100 in diameter; up to 20 in thickness Maximum weight of samples in kg: 0.5 Overall dimensions of measurement module, Option 1 (length, width, height) in mm: 340 (410) x 340 x 430 Maximum weight of measurement module, Option 1 in kg: 20 Overall dimensions of measurement module,Option 2 without support (length, width, height) in mm: 460(530) x 380 x 490 Maximum weight of measurement module, Option 2 in kg Overall dimensions of electronic module (length,width, height) in mm: 450x250x500 Maximum weight of electronic module in kg: 8
條列說明使用規定
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊

多功能掃描探針顯微鏡 (Scanning Probe Microscope)

儀器中文全名	2204 多功能掃描探針顯微鏡
儀器中文簡稱	多功能掃描探針顯微鏡
儀器英文全名	2204 Scanning Probe Microscopes
儀器英文簡稱	SPMs
儀器位置	B1檢測實驗室
儀器管理人	簡秀真
TEL	(06)2757575#31389#9
E-mail	shioujen@mail.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		■ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	根據其成像原理和操作模式的差異，主要分為原子力顯微鏡（atomic force microscopes ，AFMs）、導電性原子力顯微鏡(Conductive AFM, C-AFM)、靜電力顯微鏡(Electrostatic Force Microscopy, EFM)、磁力顯微鏡(Magnetic Force Microscopy, MFM)、壓電力顯微鏡 (Piezoresponse Force Microscopy, PFM)、表面電位顯微鏡( Surface Potential Force Microscopy, KPFM)等，提供奈米材料表面形貌、表面粗糙度、尺度、電性、硬度、黏滯力等分析。
廠牌/型號	廠牌：Bruker 型號：Dimension Icon
條列說明重要規格	X-Y Scan Range: 90 µm x 90 µm Z Range: 10 µm Vertical Noise Floor: < 30 pm RMS XY Position Noise (Closed Loop): ≤ 0.15 nm RMS Z Sensor Noise Level (Closed Loop): 35 pm RMS Integral Nonlinearity (X-Y-Z): < 0.5 % Sample Size/Holder: ≤ 210 mm diameter, ≤ 15 mm thick Motorized Position Stage (X-Y axis): 180 mm x 150 mm Microscope Optics: 5-megapixel digital camera; 180 µm to 1465 µm Controller: NanoScope VI
條列說明使用規定
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊

半導體元件測量平台 (Measurement Station for Electrical Characterization)

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