SEM

跳到主要內容區塊

:::

..

核心設施中心

核心設施中心

:::

..

SEM

掃描式電子顯微鏡 SEM

掃描式電子顯微鏡 SEM

高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡I (Scanning Electron Microscope II, JEOL JSM-7001F)

儀器中文全名	3202 高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡
儀器中文簡稱	高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡
儀器英文全名	3202 Scanning Electron Microscope, JEOL JSM-7001F
儀器英文簡稱	SEM_7001
儀器位置	B1/奈米檢測實驗室
儀器管理人	賴修偉
TEL	06-2757575313892
E-mail	hiwett@mail.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	¢ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡，其特點為以熱場發射電子槍產生能量均ㄧ之電子束。能提供金屬材料及電子材料等，於高倍率下之二次電子影像 (SEI)與背反電子影像(BEI)之表面型態觀察。本機台同時配置有能量分散光譜儀(EDS)，可作元素成分之定性及半定量分析之工作。並附有背向散射電子繞射儀(EBSD)，可以藉由背向散射電子所產生的菊池圖形，計算出電子束所照射位置之晶體的方位，藉由自動化軟體的幫助，可以對試片進行 mapping的動作，進而得到掃描區域完整的方位資訊，並利用 OIM Analysis軟體對方位資訊進行處理，進而得到定量晶體取向分析結果，如：ODF(orientation distribution function)、PoleFigure、Inverse Pole Figure等。
廠牌/型號	廠牌：JEOL 型號：JSM-7001
條列說明重要規格	解析度：1.2 nm (30 KV)、1.5 nm (15 KV)、3 nm (1 KV) 放大倍率： 25x to x1,000,000x 加速電壓：0.5 kV to 30 kV 電流：~pA to 200 nA 電子槍形態：熱場發射式電子槍試片規格：直徑 25nm 高度10 nm 影像解析度：1280 × 960px 試片載台：試片移動的範圍如下 X axis：70nm Y axis：50nm Rotation：360° Z axis：3 to 41nm Tilt：-5 to +70°
條列說明使用規定	試片大小：目前本中心提供兩種不同直徑的試片底座，試片請自行做前處理的動作，取樣直徑最大不超過25 mm、最大高度10 mm。請依照規範製作，勿超出規定範圍。 12.5 mm (f) × 10(H) mm specimen 25.0 mm(f) × 10(H) mm specimen 樣品準備須知：樣品須導電，不導電之樣品須經鍍導電膜處理。樣品須乾燥，在真空中無揮發性。使用者必需詳細說明試片之製作方式，若有可能造成真空腔的污染，本單位有權拒絕受理。若因試片處理不當而造成儀器污染或損壞時，須負責賠償，賠償費用由原廠評估再由中心會議決議後執行並暫停儀器之使用權。下列樣品，因容易對儀器造成損害，恕不受理：試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品。試片含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。具強磁性、磁性(如鐵、鈷、鎳等)或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料。若含有上述成分不告知而導致儀器受損者，送測者須負起儀器修復責任。委託時務必事先電話聯絡，實驗期間委託人必須在場，方便操作者跟委託人溝通。代工指代為操作機台，中心無需負代工結果之責任。委託者確認代工單內容無誤後，除機台故障外，不得要求退費。檔案儲存：請自行準備光碟片。
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊

桌上型掃描式電子顯微鏡 (Tabletop SEM)

儀器中文全名	3204桌上型掃描式電子顯微鏡
儀器中文簡稱	桌上型電顯
儀器英文全名	3204 Tabletop Scanning Electron Microscope
儀器英文簡稱	Tabletop SEM
儀器位置	B1檢測實驗室
儀器管理人	賴修偉
TEL	06-2757575313892
E-mail	hiwett@mail.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	¢ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	二次電子影像觀察_利用電子束在試片上掃描進行影像觀察，能夠觀察材料表面微米級影像、成份對比影像等資訊，分別對於表面輪廓與原子序差異可得到良好的影像品質，可以取代光學顯微鏡，讓您更近距離弄清楚樣品由何組成。
廠牌/型號	廠牌：Hitachi 型號：TM1000
條列說明重要規格	放大20〜10,000x (2x, 4x 數位變焦) 加速電壓15 Kv 高靈敏度固態散射探測器標準觀測模式與 Charge-up 還原模式最大試樣尺寸70 mm 直徑, 最大試樣厚度 20 mm 前置盒式鎢燈絲電子槍自動啟動、對焦和亮度圖像格式 bmp、tif、jpg 資料顯示: 微米標記、微米值、日期和時間、圖像數位、評論渦輪泵30升/秒，並包括過流保護功能
條列說明使用規定	試片大小：高度不得高於8 mm，大小不得大於十元硬幣。試片限制，以下試片不得進入：試片在電子束照射下會分解、釋放氣體或成為液體之樣品。試片含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。具強磁性、磁性(如鐵、鈷、鎳等)或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料。若含有上述成分不告知而導致儀器受損者，送測者須負起儀器修復責任。委託時務必事先電聯，實驗期間委託人必須在場，方便操作者跟委託人溝通。代工指代為操作機台，中心無需負代工結果之責任。委託者確認代工單內容無誤後，除機台故障外，不得要求退費。檔案儲存：請自行準備光碟片。
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊

分析型場發掃描式電子顯微鏡 (Analyiacl Field Emission SEM)

儀器中文全名	分析型場發掃描式電子顯微鏡
儀器中文簡稱
儀器英文全名	Analytical field emission scanning electron microscope
儀器英文簡稱	AFE-SEM
儀器位置	2樓 / 0206
儀器管理人	劉彩芸
TEL	06-2757575#31373
E-mail	z10508127@email.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻			□ 後處理	□ 薄膜成長
	▓ 試片製備	□ 奈米壓痕			□ 掃描探針	▓ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統			□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析			□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	▓ 表面分析	□ 質譜儀			□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	本儀器由掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)與能量散射光譜分析儀(EDS)所組成，能提供樣品在高/低加速電壓之掃描觀察，可獲得超高解析影像之能力，加速電壓15kV解析度為1nm。同時加裝EDS元素分析，以擷取高解析數位影像及成份定性、半定量等分析。
廠牌/型號	SEM 廠牌：ZEISS 型號：AURIGA			EDS 廠牌：BRUKER 型號：XFlash 5010
條列說明重要規格	熱場效燈絲(Schottky emitter) Acceleration Voltage：加速電壓為0.1 kV ~ 30 kV 二次電子像(SE)解析度：1.0 nm @ 15 kV. 1.9 nm @ 1 kV. 倍率範圍12 X to 1,000,000 X（SE Mode）五軸電腦馬達控制台 X 軸移動距離100 mm。Y 軸移動距離 100 mm 。Z 軸移動距離 50 mm。旋轉連續360°。T軸-10度至60度。 EDS偵測範圍B~Am。Resolution：125
條列說明使用規定	樣品直徑最大不超過50mm(最好在10mm以內為宜)，最大高度20mm 如有多個樣品，請以導電之金屬載片(最大不超過50mm)依序黏貼固定好，每個樣品觀察面要同高，底部要平整如為非金屬、粉體試件，請先做蒸鍍及固定處理試件需不含水分、磁性、揮發性物質本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件每月28日下午2:00開放下個月份使用時段(由國科會貴儀資訊管理系統預約) 若欲取消預約，請於使用日的三天前上網取消，否則需計基本使用費
預約系統	https://vir.nstc.gov.tw/Home/Index
技術手冊

多功能環境場發掃描式電子顯微鏡 (Multi-Function Environmental Field Emission SEM with EDS/EBSD)

儀器中文全名	多功能環境場發掃描式電子顯微鏡
儀器中文簡稱
儀器英文全名	Multi-function environmental field emission scanning electron microscope with EDS and EBSD
儀器英文簡稱	EFE-SEM
儀器位置	2樓 / 0206
儀器管理人	劉彩芸
TEL	06-2757575#31373
E-mail	z10508127@email.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻			□ 後處理		□ 薄膜成長
	▓ 試片製備	□ 奈米壓痕			□ 掃描探針		▓ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統			□ 光學顯微鏡		□ 光學檢測
	▓ 晶體分析	□ 粒徑分析			□ 物理性質		□ 核磁共振儀
	▓ 表面分析	□ 質譜儀			□ 進階服務		□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	本儀器為結合HITACHI SU-5000熱場效型高解析場發射掃描式電子顯微鏡、EDAX能量散射光譜儀(EDS)及電子背向繞射儀(EBSD)，可做各式材料表面形貌觀察、快速元素定性、半定量及晶體結構分析等，是目前最先進之複合型電子顯微鏡之一，在應用上極為廣泛。
廠牌/型號	SEM 廠牌：HITACHI 型號：SU-5000		EDS 廠牌：EDAX 型號：ELITE			EBSD 廠牌：EDAX 型號：Velocity Plus
條列說明重要規格	Better than 1.2 nm at 30kV Better than 2.0 nm at 1KV 熱場效燈絲(ZrO/W Schottky emission electron gun) 加速電壓：0.5KV to 30 KV 二次電子像 (SE) 解析度： EDS偵測範圍B~Am，Resolution：125 eV EBSD收集速度3000點/秒，解析度640×480
條列說明使用規定	SEM： EBSD：樣品直徑最好在10mm以內，最大高度10mm內為宜如有多個樣品，請以導電之金屬載片(最大不超過50mm)依序黏貼固定好，每個樣品觀察面要同高，底部要平整若為非金屬、粉體樣品，請先做固定及鍍金等前處理本儀器為精密設備，為維護儀器之性能，拒絕受理含有水份、磁性、腐蝕性、低熔點(高分子)、易揮發性(含鑲埋)、污染性及傳染性之樣品每月28日下午2:00開放下個月份使用時段(由國科會貴儀資訊管理系統預約) 若欲取消預約，請於使用日的三天前上網取消，否則需計基本使用費樣品須為穩定之塊材(不得為粉體、高分子及鑲埋試件)，且須提供樣品已知相(phase) 樣品直徑限制在10mm以內，最大高度3mm內為宜，並請自行試片表面處理，至少於光學顯微下沒刮痕
預約系統	https://vir.nstc.gov.tw/Home/Index
技術手冊

高解析射掃描電子顯微鏡 (High Resolution SEM)

儀器中文全名	高解析掃描電子顯微鏡
儀器中文簡稱	場發掃描電鏡
儀器英文全名	High Resolution Scanning Electron Microscope
儀器英文簡稱	HR-SEM
儀器位置	自強校區儀器設備大樓二樓 0208室
儀器管理人	施慧蓉
TEL	31376分機
E-mail	z7306007@email.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	■ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	□ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	顯微電鏡具有高解析的特點。本儀器為Hitachi SU8000，在高真空中操作（~10^-10 torr）可得到高解析的影像(15KV；1nm解析度)。本儀器配置EDS 可作B以上分析。本儀器亦提供成份分析，適用於材料、半導體、光電領域，對學術研究有很大的貢獻。
廠牌/型號	廠牌：Hitachi 型號：SU8000
條列說明重要規格	1.奈米樣品表面觀察。 2.微區異物分析及組成分析。 3.奈米樣品大小與各層寬度或厚度距離量測 4.二次電子解析度:15 Kv: 1.0nm。 5.有斜插式及高感度平插式EDS提供材料分析。根據樣品及需求來設定儀器分析，包括薄膜、奈米材料、敏感性材料都可以提供分析。
條列說明使用規定	1.磁性樣品不收，弱磁性樣品須經評估是否可以服務。 2.毒性、揮發性、具腐蝕性的樣品不接受服務。 3.第一次預約本儀器，請事先跟技術員聯絡，討論樣品的前處理，及樣品大小規定。及是否要提前鍍金，或不鍍金，以把握上機的時間。 4.非經本儀器管理員認證通過，不得預約自行操作。
預約系統	[請附網頁連結]
技術手冊	[請另外提供電子檔]

瀏覽數:

加到我的最愛

分享