表面分析

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表面分析 Surface Analysis

表面分析 Surface Analysis

化學分析電子光譜儀 (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis, ESCA XPS)

儀器中文全名	化學分析電子光譜儀
儀器中文簡稱	化學分析電子光譜儀
儀器英文全名	Electron Spectroscopy for Chemical Analysis
儀器英文簡稱	ESCA
儀器位置	自強校區照坤精密儀器大樓0211室
儀器管理人	李瑞欽
TEL	31411
E-mail	Z8011013@email.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	■ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	化學分析電子光譜儀(ESCA)是一種分析材料表面組織形態及化學結構的儀器，可適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域。 ESCA的原理，簡單地說就是光電效應。當其有足夠能量的電磁波(X-Ray)照射在材料表面上，原子內的電子吸收了電磁波的能量，將可自原子內游離出來，稱為光電子。其動能為入射電磁波的能量，減去該電子在原子內的束縛能。不同元素的光電子，具有特定的動能，因而判定材料表面的元素成份。
廠牌/型號	廠牌：ULVAC-PHI 型號：PHI 5000Versa Probe
條列說明重要規格	XPS：光源為掃描式Al Kα單光化X 光 Argon Ion Gun，可用於清潔樣品表面和縱深分析。電荷中和系統：中和樣品表面的電荷累積。 Transfer Vessel: 可於手套箱內將空氣敏感不穩定的樣品密封，觀察樣品的真實狀態。
條列說明使用規定	1.由於ESCA是對試樣表面非常靈敏的儀器，因此，保持試片表面的原狀與潔淨，對分析結果的正確與否非常重要。例如手指接觸到試片表面，則可能會檢測出Cl、C、Na、O等外來的污染元素。 2.樣品規格：ESCA面積小於2cm*2cm，厚度小於5mm。 3.樣品不得具有磁性、毒性、輻射性。 4.Depth profile以不超過1um為原則。凡發表論文將儀器列共同作者或致謝中提起.享有預約優先與優待服務 (NSC Instrument Center NCKU PHI Versa Probe 4
預約系統	國家科學及技術委員會-基礎研究核心設施預約服務管理系統
技術手冊

X光光電子能譜儀 (X-Ray Photoelectron Spectronmeter)

儀器中文全名	X光電子能譜儀
儀器中文簡稱
儀器英文全名	X-ray Photoelectron SPECTROSCOPY
儀器英文簡稱	XPS
儀器位置	自強校區照坤精密儀器大樓0211室
儀器管理人	李瑞欽
TEL	31411
E-mail	Z8011013@email.ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	■ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
應用/功能簡介 (100字內)	X光電子能譜儀(XPS)是一種分析材料表面組織形態及化學結構的儀器，可適用於電機、機械、電子、材料、化學、化工等研究領域。 XPS的原理，簡單地說就是光電效應。當其有足夠能量的電磁波(X-Ray)照射在材料表面上，原子內的電子吸收了電磁波的能量，將可自原子內游離出來，稱為光電子。其動能為入射電磁波的能量，減去該電子在原子內的束縛能。不同元素的光電子，具有特定的動能，因而判定材料表面的元素成份。
廠牌/型號	廠牌：ULVAC-PHI 型號：Versa probe IV
條列說明重要規格	XPS：光源為掃描式Al Kα單光化X 光 Argon Ion Gun，可用於清潔樣品表面和縱深分析。電荷中和系統：中和樣品表面的電荷累積。 Transfer Vessel: 可於手套箱內將空氣敏感不穩定的樣品密封，觀察樣品的真實狀態。
條列說明使用規定	1.由於XPS是對試樣表面非常靈敏的儀器，因此，保持試片表面的原狀與潔淨，對分析結果的正確與否非常重要。例如手指接觸到試片表面，則可能會檢測出Cl、C、Na、O等外來的污染元素。 2.樣品規格：XPS面積小於2cm*2cm，厚度小於5mm。 3.樣品不得具有磁性、毒性、輻射性。 4.Depth profile以不超過1um為原則。凡發表論文將儀器列共同作者或致謝中提起.享有預約優先與優待服務 (NSC Instrument Center NCKU PHI Versa Probe 4
預約系統	國家科學及技術委員會-基礎研究核心設施預約服務管理系統
技術手冊

接觸角量測儀 (Contact Angle Meter)

儀器中文全名	4206 接觸角量測儀
儀器中文簡稱	接觸角量測儀
儀器英文全名	4206 Contact Angle Meter
儀器英文簡稱	CA
儀器位置	B1檢測實驗室
儀器管理人	李芃葶
TEL	06-2757575 ext.31389
E-mail	ptli@ncku.edu.tw
技術類別 (請勾選)	□ 微影	□ 蝕刻		□ 後處理	□ 薄膜成長
	□ 試片製備	□ 奈米壓痕		□ 掃描探針	□ 掃描式電顯
	□ 穿透式電顯	□ 離子電子雙束系統		□ 光學顯微鏡	□ 光學檢測
	□ 晶體分析	□ 粒徑分析		□ 物理性質	□ 核磁共振儀
	■ 表面分析	□ 質譜儀		□ 進階服務	□ 其他
M應用/功能簡介 (100字內)	接觸角（Contact Angle,θ）為衡量材料親、疏水性的重要指標。接觸角（θ）係指當一液體與固體接觸時，經由固、液、氣三項都接觸到的三相點沿著液／氣界面的切線方向所形成的夾角，也就是液體表面與固體表面之間的夾角。接觸角為一種濕潤性的量度，數值為0-180度。當θ<30∘，稱超親水性表面；θ介於30-90∘，稱親水性表面；θ介於90-150∘，稱疏水性表面；當θ介於150-180∘，稱超疏水性表面。建立量測接觸角與表面能量測方法，將有助於研發材料性能提升。
廠牌/型號	廠牌：First Ten Angstroms（代理商:汎達科技）型號：FTA-1000B
條列說明重要規格	可進行接觸角量測液體表面張力測固體表面能計算 (Surface Energy) 接觸角量測範圍 : 0-180∘，讀取精度≦ 0.1∘ 表面張力量範圍 : 0-2000 mN/m，精度 ± 0.5% 手動定量滴定器 : 容量2.0 ml 最小刻度 : 0.002 ml-Teflon 耐酸鹼材質樣品測試載台 : 樣品最大尺寸寬度 : 30cm 厚度 : 5.5cm 樣品定位： Z軸手動上昇下降(2.5cm) Y軸手動式移動定位 (行程 15cm) 模組化設計，擴充性高 ( 不需要更換主機 )
條列說明使用規定	僅提供水滴角數據。
預約系統	微奈米系統-自行操作: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_e_system/index.php/facility/admin/available/list 微奈米系統-代工: https://cfc2021.cfc.ncku.edu.tw/cmnst_OEM/OEM_application
技術手冊

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