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[儀器費率調整公告]自114年3月1日起，調整奈米深蝕刻系統 (感應耦合離子電漿)之自行操作費率。
[儀器費率調整公告]
自114年3月1日起，因應材料及人事費用的調漲，本中心微奈米科技組將調整奈米深蝕刻系統 (感應耦合離子電漿)之自行操作費率。詳情請參閱儀器列表與費率。
●本中心貴重儀器設備組執行「國科會基礎研究核心設施共同使用服務計畫」之儀器服務(原成大貴重儀器中心)
●本中心微奈米科技組以自行開發系統提供檢測分析及半導體製程之儀器服務(原成大微奈米科技研究中心)
●共儀服務平台為非本中心管理，由本校各實驗室加入平台所提供之儀器服務
微奈米科技組 機台設備與費用列(調漲1202奈米深蝕刻系統自操費率)114.03.01-1.pdf