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[儀器費率調整公告]自114年3月1日起，調整奈米深蝕刻系統 (感應耦合離子電漿)之自行操作費率。

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[儀器費率調整公告]

自114年3月1日起，因應材料及人事費用的調漲，本中心微奈米科技組將調整奈米深蝕刻系統 (感應耦合離子電漿)之自行操作費率。詳情請參閱儀器列表與費率。

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