本中心微奈米科技組編號1205之金屬蝕刻系統（感應耦合電漿離子蝕刻機） (ICP RIE SYSTEM) 停氣通知

本中心即將於111年10月底設置新購之金屬蝕刻系統（感應耦合電漿離子蝕刻機） (ICP RIE SYSTEM) ，屆時將停止部分氣體供應，請注意附檔說明。