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本中心微奈米科技組編號1205之金屬蝕刻系統（感應耦合電漿離子蝕刻機） (ICP RIE SYSTEM) 停氣通知
本中心即將於111年10月底設置新購之金屬蝕刻系統（感應耦合電漿離子蝕刻機） (ICP RIE SYSTEM) ，屆時將停止部分氣體供應，請注意附檔說明。
●本中心貴重儀器設備組執行「國科會基礎研究核心設施共同使用服務計畫」之儀器服務(原成大貴重儀器中心)
●本中心微奈米科技組以自行開發系統提供檢測分析及半導體製程之儀器服務(原成大微奈米科技研究中心)
●共儀服務平台為非本中心管理，由本校各實驗室加入平台所提供之儀器服務
1205_Metal_ICP_停氣公告.pdf